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. 2024 Feb 13;2(7):282–299. doi: 10.1021/prechem.3c00115

Table 1. Possible Chemical Reactions in SCVD Growth of 2D TMDs.

  Reactions References
MoS2 (NH4)2MoO4 + 4S + 2KOH + H2O → MoO3 + 3H2S + K2SO4 + 2NH3 (22)
  2MoO3 + 7S → 2MoS2 + 3SO2  
  (NH4)6Mo7O24·4H2O → 6NH3 + 7H2O + 7MoO3 (23)
  2MoO3 + 7S → 2MoS2 + 3SO2  
MoSe2 2(NH4)2MoO4 → 2MoO3 + 4NH3 + 2H2O (24)
  2MoO3 + 2KI → MoO2I2 + K2MoO4  
  MoO2I2 + 4H2 + 3Se → MoSe2 + 2HI + 2H2O + H2Se  
  Na2MoO4 + 2Na2SeO3 + 3Se + 10H2 → MoSe2 + 3Na2Se + 10H2O (20)
WS2 (NH4)10W12O41 → 10NH3 + 5H2O + 12WO3 (25)
  2WO3 + 7S → 2WS2 + 3SO2  
MoTe2 Na2MoO4 + 3Te + 3H2O → TeO2 + 2H2Te + MoO3 + 2NaOH (26)
  MoO3 + 2TeO2 + 7H2 → MoTe2 + 7H2O  
WTe2 Na2WO4 + 2Na2TeO3 + 3Te + 10H2 → WTe2 + 3Na2Te + 10H2O (20)