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. 2026 Mar 31;59(Pt 2):687–699. doi: 10.1107/S1600576726001469

Table 3. Structure factor of Si 111 and 222 from different regions.

  Thickness (Å) Inline graphic Inline graphic Inline graphic GOF
Dataset 1 805 (2) 0.05444 (10) 0.00072 (3) 0.00119 (19) 0.527 (83)
Dataset 2 661 (2) 0.05395 (17) 0.00090 (3) 0.00115 (10) 0.870 (99)
Dataset 3 726 (4) 0.05422 (14) 0.00078 (7) 0.00120 (10) 1.127 (284)
Dataset 4 661 (1) 0.05409 (7) 0.00094 (4) 0.00120 (6) 0.645 (125)
Average – 0.05418 (22) 0.00084 (10) 0.00118 (11) –