Table 1.
Peak | Position BE (eV) | Atomic Conc. % |
---|---|---|
O | 530.5 | 24.80 |
Ti | 464 | 0.02 |
N | 397 | 0.19 |
C | 283 | 71.48 |
S | 167 | 0.12 |
Si | 100.5 | 3.05 |
Cl | 99.5 | 0.00 |
Peak | Position BE (eV) | Atomic Conc. % |
---|---|---|
O | 530.5 | 24.80 |
Ti | 464 | 0.02 |
N | 397 | 0.19 |
C | 283 | 71.48 |
S | 167 | 0.12 |
Si | 100.5 | 3.05 |
Cl | 99.5 | 0.00 |