TABLE II.

Lookup Table for ${\beta }_1^{*}\text{and}{\beta }_2^{*}$ (in micrometers) With Boron Implantation. The First Number Given Is for a Typical Process With 1500-Å Wet Isolation Oxide With N₂ Annealing, While Values in Parentheses Are for Inert (N₂) Annealing Alone. The Wet Isolation Oxide Was Grown at the Indicated Process Temperature for 66-, 15-, and 5-min Oxidation Time for 900 °C, 1000 °C, and 1100 °C, Respectively, and the Wafer Is Then Annealed at the Same Process Temperature for the Time Indicated in the Table. β^* of Piezoresistive Device Is Calculated Using (17). For Example, β^* of 10-µm-Thick Device With 2·10¹⁵ cm⁻² Implantation Dose at 50 keV and a 30-min N₂ Anneal At 1000 °C Is 0.53 From ${\beta }^{*}={\beta }_1^{*}-{\beta }_2^{*}/0.5t_c=0.55-0.13/5$

Implantation Dose (cm−2)	Implantation Energy (keV)	Annealing Temp (°C)	Annealing Time (min)
			15		30		45		60		75		90		105		120
			${\beta }_1^{*}$	${\beta }_2^{*}$	${\beta }_1^{*}$	${\beta }_2^{*}$	${\beta }_1^{*}$	${\beta }_2^{*}$	${\beta }_1^{*}$	${\beta }_2^{*}$	${\beta }_1^{*}$	${\beta }_2^{*}$	${\beta }_1^{*}$	${\beta }_2^{*}$	${\beta }_1^{*}$	${\beta }_2^{*}$	${\beta }_1^{*}$	${\beta }_2^{*}$
		900	.84(.74)	.19(.09)	.84(.73)	.19(.09)	.84(.72)	.19(.09)	.84(.72)	.19(.09)	.84(.72)	.19(.09)	.84(.73)	.19(.09)	.84(.73)	.19(.09)	.84(.73)	.20(.09)
	30	1000	.86(.72)	.26(.09)	.86(.74)	.26(.11)	.86(.74)	.27(.12)	.86(.75)	.27(.13)	.86(.75)	.27(.14)	.87(.76)	.28(.15)	.87(.76)	.28(.16)	.87(.77)	.29(.16)
		1100	.88(.77)	.43(.17)	.88(.79)	.45(.22)	.89(.80)	.47(.27)	.89(.81)	.49(.31)	.89(.82)	.51(.34)	.89(.82)	.53(.37)	.89(.83)	.55(.40)	.89(.83)	.57(.43)
		900	.82(.76)	.22(.14)	.82(.75)	.22(.13)	.82(.75)	.22(.13)	.82(.74)	.22(.13)	.82(.75)	.22(.13)	.82(.75)	.22(.14)	.82(.75)	.22(.14)	.82(.75)	.22(.14)
2·1014	50	1000	.84(.74)	.28(.13)	.85(.75)	.28(.14)	.85(.76)	.29(.15)	.85(.76)	.29(.16)	.85(.76)	.30(.17)	.85(.77)	.30(.17)	.85(.77)	.31(.18)	.85(.77)	.31(.19)
		1100	.87(.77)	.44(.19)	.87(.79)	.47(.24)	.87(.80)	.49(.28)	.88(.81)	.51(.32)	.88(.82)	.53(.35)	.88(.82)	.55(.38)	.88(.82)	.57(.41)	.88(.83)	.59(.44)
		900	.81(.78)	.29(.23)	.81(.78)	.29(.23)	.81(.78)	.29(.23)	.81(.78)	.29(.23)	.82(.78)	.29(.23)	.82(.78)	.29(.23)	.82(.78)	.29(.23)	.82(.78)	.29(.23)
	100	1000	.83(.77)	.34(.22)	.83(.77)	.34(.23)	.83(.78)	.35(.23)	.84(.78)	.35(.24)	.84(.78)	.36(.24)	.84(.79)	.36(.25)	.84(.79)	.36(.25)	.84(.79)	.37(.26)
		1100	.86(.79)	.49(.26)	.86(.80)	.51(.30)	.86(.81)	.53(.34)	.86(.82)	.55(.37)	.87(.82)	.57(.40)	.87(.83)	.59(.43)	.87(.83)	.61(.45)	.87(.83)	.62(.48)
		900	.69(.56)	.17(.08)	.69(.53)	.17(.07)	.69(.52)	.18(.07)	.69(.52)	.18(.08)	.69(.52)	.18(.08)	.69(.52)	.18(.08)	.69(.52)	.18(.09)	.69(.53)	.18(.09)
	30	1000	.70(.53)	.25(.10)	.70(.55)	.26(.12)	.70(.57)	.27(.15)	.70(.58)	.27(.16)	.70(.58)	.28(.18)	.71(.59)	.28(.19)	.71(.60)	.29(.20)	.71(.60)	.29(.21)
		1100	.73(.59)	.45(.19)	.74(.62)	.48(.25)	.74(.63)	.51(.30)	.75(.64)	.53(.34)	.75(.65)	.55(.38)	.75(.66)	.57(.41)	.75(.67)	.59(.44)	.76(.67)	.61(.47)
		900	.64(.57)	.18(.11)	.64(.53)	.18(.10)	.64(.52)	.18(.10)	.65(.52)	.18(.10)	.65(.52)	.18(.10)	.65(.52)	.19(.10)	.65(.52)	.19(.10)	.65(.53)	.19(.10)
2·1015	50	1000	.68(.53)	.26(.11)	.68(.55)	.27(.13)	.69(.57)	.27(.15)	.69(.57)	.28(.17)	.69(.58)	.29(.18)	.69(.59)	.29(.20)	.69(.59)	.30(.21)	.69(.60)	.30(.22)
		1100	.72(.59)	.44(.20)	.72(.61)	.46(.26)	.72(.63)	.49(.31)	.73(.64)	.51(.35)	.73(.65)	.53(.38)	.73(.66)	.55(.42)	.74(.66)	.57(.45)	.74(.67)	.59(.47)
		900	.63(.60)	.24(.19)	.63(.57)	.24(.18)	.63(.56)	.24(.17)	.63(.56)	.24(.17)	.63(.56)	.24(.17)	.63(.56)	.24(.18)	.63(.56)	.24(.18)	.63(.56)	.24(.18)
	100	1000	.67(.57)	.31(.17)	.67(.58)	.32(.18)	.67(.59)	.32(.19)	.68(.59)	.33(.21)	.68(.60)	.33(.22)	.68(.60)	.34(.23)	.68(.60)	.34(.24)	.68(.61)	.35(.25)
		1100	.70(.60)	.46(.23)	.71(.62)	.49(.29)	.71(.63)	.51(.33)	.71(.64)	.54(.37)	.72(.65)	.56(.40)	.72(.66)	.58(.43)	.72(.66)	.60(.46)	.72(.67)	.62(.49)
		900	.55(.55)	.14(.11)	.55(.52)	.14(.10)	.55(.51)	.15(.10)	.55(.51)	.15(.11)	.55(.51)	.15(.11)	.55(.51)	.15(.11)	.54(.51)	.16(.12)	.54(.51)	.16(.12)
	30	1000	.49(.43)	.23(.11)	.49(.44)	.25(.14)	.49(.45)	.27(.17)	.49(.45)	.28(.19)	.49(.45)	.30(.21)	.50(.45)	.31(.23)	.50(.45)	.33(.25)	.50(.45)	.34(.27)
		1100	.51(.41)	.47(.22)	.51(.42)	.51(.32)	.52(.45)	.55(.40)	.52(.46)	.58(.46)	.53(.47)	.62(.52)	.53(.48)	.64(.56)	.54(.48)	.67(.60)	.54(.49)	.70(.64)
		900	.53(.54)	.15(.13)	.53(.51)	.15(.12)	.53(.50)	.15(.12)	.53(.50)	.15(.12)	.53(.50)	.15(.13)	.53(.50)	.15(.13)	.53(.50)	.16(.13)	.52(.50)	.16(.14)
2·1016	50	1000	.48(.42)	.23(.12)	.48(.43)	.25(.15)	.48(.44)	.27(.18)	.48(.44)	.29(.20)	.48(.44)	.31(.22)	.48(.44)	.32(.24)	.48(.45)	.34(.26)	.48(.45)	.35(.27)
		1100	.50(.41)	.48(.23)	.51(.42)	.52(.33)	.51(.44)	.56(.41)	.52(.46)	.59(.47)	.52(.47)	.63(.52)	.52(.47)	.66(.57)	.53(.48)	.68(.61)	.53(.49)	.71(.65)
		900	.52(.55)	.21(.20)	.52(.51)	.21(.19)	.52(.50)	.21(.18)	.52(.50)	.21(.18)	.52(.50)	.21(.18)	.52(.50)	.21(.18)	.52(.50)	.21(.19)	.52(.50)	.21(.19)
	100	1000	.47(.42)	.24(.15)	.47(.42)	.26(.17)	.47(.43)	.28(.20)	.47(.43)	.29(.22)	.47(.43)	.31(.24)	.47(.43)	.33(.26)	.48(.44)	.34(.27)	.48(.44)	.36(.29)
		1100	.50(.40)	.50(.24)	.50(.43)	.54(.35)	.51(.45)	.57(.43)	.51(.46)	.61(.49)	.52(.47)	.64(.54)	.52(.48)	.67(.58)	.52(.48)	.70(.62)	.53(.49)	.72(.66)