Table 1.
Objective | Intensity Ratios | Order Parameter, P2 | |
---|---|---|---|
Rx | Ry | ||
4×, 0.20 NA (zmin=60.8 μm) | 0.60±0.2 | 0.78±0.1 | 0.03±0.02 |
20×, 0.50 NA (zmin=9.7 μm) | 0.26±0.1 | 0.36±0.11 | 0.06±0.01 |
20×, 0.75 NA (zmin=4.3 μm) | 0.29±0.05 | 0.59±0.09 | 0.20±0.02 |
40×, 0.90 NA (zmin=3.0 μm) | 0.06±0.03 | 0.74±0.1 | 0.72±0.06 |