U11	U22	U33	U12	U13	U23
C1	0.067 (3)	0.122 (3)	0.112 (3)	−0.040 (2)	0.059 (2)	−0.043 (3)
C2	0.060 (2)	0.139 (4)	0.075 (3)	−0.012 (2)	0.032 (2)	−0.029 (2)
C3	0.062 (2)	0.106 (3)	0.086 (3)	0.002 (2)	0.041 (2)	−0.014 (2)
C4	0.068 (2)	0.090 (3)	0.083 (3)	0.011 (2)	0.037 (2)	−0.009 (2)
C5	0.056 (2)	0.098 (3)	0.0552 (19)	0.0054 (19)	0.0253 (16)	−0.0033 (18)
C6A	0.060 (6)	0.161 (7)	0.052 (9)	−0.017 (5)	0.031 (7)	−0.030 (7)
C6B	0.060 (6)	0.161 (7)	0.052 (9)	−0.017 (5)	0.031 (7)	−0.030 (7)
C7A	0.064 (5)	0.143 (11)	0.062 (8)	−0.010 (5)	0.024 (6)	−0.038 (7)
C7B	0.064 (5)	0.143 (11)	0.062 (8)	−0.010 (5)	0.024 (6)	−0.038 (7)
C8	0.071 (2)	0.084 (3)	0.060 (2)	0.010 (2)	0.0291 (18)	0.0063 (18)
C9	0.057 (2)	0.084 (2)	0.062 (2)	0.0006 (18)	0.0245 (16)	0.0043 (17)
C10	0.055 (2)	0.086 (2)	0.074 (2)	0.0004 (18)	0.0274 (17)	0.0023 (19)
C11	0.055 (2)	0.074 (2)	0.073 (2)	−0.0010 (17)	0.0243 (17)	0.0036 (17)
C12	0.130 (4)	0.087 (3)	0.123 (4)	0.028 (3)	0.084 (3)	0.020 (3)
C13	0.186 (6)	0.079 (3)	0.157 (5)	0.030 (3)	0.112 (5)	0.030 (3)
C14	0.112 (4)	0.091 (3)	0.088 (3)	−0.005 (3)	0.044 (3)	0.020 (2)
C15	0.105 (3)	0.090 (3)	0.070 (2)	−0.006 (2)	0.038 (2)	−0.005 (2)
C16	0.096 (3)	0.072 (2)	0.064 (2)	−0.003 (2)	0.028 (2)	−0.0008 (17)
C17	0.079 (3)	0.105 (3)	0.069 (2)	−0.008 (2)	0.032 (2)	0.019 (2)
C18	0.146 (5)	0.101 (4)	0.124 (5)	0.006 (4)	0.012 (4)	0.011 (3)
C23	0.082 (3)	0.150 (5)	0.082 (3)	−0.023 (3)	0.033 (2)	0.021 (3)
O1	0.138 (4)	0.415 (12)	0.189 (6)	−0.047 (6)	−0.001 (4)	−0.062 (7)
O2A	0.118 (7)	0.170 (5)	0.147 (18)	−0.055 (4)	0.076 (14)	−0.082 (7)
O2B	0.118 (7)	0.170 (5)	0.147 (18)	−0.055 (4)	0.076 (14)	−0.082 (7)
O3	0.095 (2)	0.092 (2)	0.133 (3)	0.0088 (17)	0.060 (2)	0.0008 (19)
O4	0.094 (2)	0.130 (3)	0.0670 (18)	0.0013 (18)	0.0190 (15)	0.0136 (16)
O5	0.101 (2)	0.131 (3)	0.102 (2)	0.0228 (19)	0.067 (2)	0.0240 (18)
S1	0.0773 (8)	0.1712 (15)	0.1302 (12)	−0.0381 (8)	0.0517 (8)	−0.0670 (10)
S2	0.0759 (7)	0.1063 (9)	0.0653 (6)	0.0055 (5)	0.0333 (5)	0.0160 (5)
F	0.190 (3)	0.118 (2)	0.125 (2)	−0.002 (2)	0.086 (2)	0.0390 (18)
C22	0.121 (5)	0.187 (7)	0.082 (3)	−0.064 (5)	0.042 (3)	−0.007 (4)
C20	0.170 (7)	0.125 (5)	0.122 (5)	−0.025 (5)	0.066 (5)	0.013 (4)
C19	0.189 (8)	0.121 (6)	0.151 (6)	0.002 (5)	0.008 (6)	0.005 (5)
C21	0.352 (15)	0.160 (7)	0.196 (9)	−0.102 (9)	0.123 (10)	−0.057 (6)