| U11 | U22 | U33 | U12 | U13 | U23 | |
| S | 0.0709 (8) | 0.0945 (9) | 0.0751 (8) | 0.0016 (7) | 0.0317 (7) | 0.0012 (7) |
| Cl1 | 0.1665 (17) | 0.0968 (11) | 0.1486 (15) | 0.0058 (11) | 0.0905 (14) | 0.0078 (10) |
| Cl2 | 0.1615 (17) | 0.1022 (12) | 0.1372 (14) | −0.0175 (11) | 0.0825 (13) | −0.0107 (10) |
| O1 | 0.082 (3) | 0.088 (3) | 0.099 (2) | 0.0027 (14) | 0.0451 (11) | 0.0125 (12) |
| O2 | 0.082 (2) | 0.086 (2) | 0.087 (2) | −0.0029 (19) | 0.0378 (19) | −0.0123 (18) |
| N1 | 0.082 (3) | 0.088 (3) | 0.092 (2) | 0.011 (2) | 0.036 (3) | 0.013 (2) |
| N2 | 0.070 (3) | 0.106 (3) | 0.095 (3) | −0.014 (2) | 0.037 (3) | −0.004 (2) |
| N3 | 0.069 (3) | 0.091 (3) | 0.106 (4) | 0.008 (2) | 0.032 (3) | 0.015 (3) |
| N4 | 0.079 (3) | 0.105 (4) | 0.096 (3) | 0.014 (3) | 0.037 (3) | 0.017 (3) |
| C1 | 0.108 (3) | 0.112 (3) | 0.101 (4) | 0.010 (3) | 0.051 (4) | 0.010 (4) |
| C2 | 0.108 (3) | 0.103 (3) | 0.096 (3) | 0.011 (4) | 0.046 (4) | 0.008 (3) |
| C3 | 0.109 (4) | 0.102 (3) | 0.099 (5) | 0.012 (5) | 0.047 (5) | 0.006 (4) |
| C4 | 0.100 (3) | 0.088 (4) | 0.110 (4) | 0.008 (4) | 0.052 (4) | 0.005 (3) |
| C5 | 0.087 (4) | 0.104 (4) | 0.099 (4) | 0.013 (3) | 0.039 (3) | 0.005 (3) |
| C6 | 0.089 (4) | 0.097 (4) | 0.105 (4) | 0.009 (3) | 0.038 (3) | −0.005 (3) |
| C7 | 0.104 (4) | 0.111 (5) | 0.080 (4) | 0.008 (4) | 0.049 (3) | 0.003 (3) |
| C8 | 0.059 (3) | 0.126 (5) | 0.120 (4) | 0.016 (3) | 0.046 (3) | 0.021 (4) |
| C9 | 0.122 (5) | 0.092 (4) | 0.083 (4) | −0.006 (4) | 0.063 (4) | −0.009 (3) |
| C10 | 0.103 (5) | 0.099 (5) | 0.106 (5) | −0.032 (4) | 0.056 (4) | −0.019 (4) |
| C11 | 0.097 (4) | 0.102 (4) | 0.110 (4) | −0.018 (4) | 0.066 (4) | −0.012 (4) |
| C12 | 0.071 (3) | 0.092 (4) | 0.059 (3) | −0.007 (3) | 0.036 (3) | −0.006 (2) |
| C13 | 0.089 (4) | 0.091 (4) | 0.079 (2) | −0.016 (4) | 0.036 (4) | −0.004 (3) |
| C14 | 0.100 (4) | 0.090 (4) | 0.082 (4) | −0.012 (3) | 0.038 (3) | 0.002 (3) |
| C15 | 0.081 (4) | 0.089 (4) | 0.087 (3) | −0.024 (3) | 0.050 (3) | −0.012 (3) |
| O3 | 0.077 (3) | 0.082 (3) | 0.080 (3) | −0.012 (4) | 0.040 (3) | −0.012 (3) |
| C16 | 0.071 (3) | 0.089 (4) | 0.079 (3) | −0.004 (3) | 0.039 (3) | −0.010 (3) |
| C17 | 0.066 (3) | 0.096 (3) | 0.066 (3) | 0.002 (3) | 0.040 (3) | 0.002 (2) |
| C18 | 0.058 (3) | 0.080 (3) | 0.050 (2) | 0.008 (2) | 0.021 (2) | −0.011 (2) |
| C19 | 0.077 (3) | 0.097 (3) | 0.074 (2) | −0.016 (2) | 0.050 (3) | −0.012 (2) |
| C20 | 0.088 (3) | 0.073 (3) | 0.078 (3) | −0.013 (3) | 0.056 (3) | −0.010 (2) |
| C21 | 0.087 (4) | 0.090 (4) | 0.067 (3) | −0.011 (3) | 0.045 (3) | −0.013 (3) |
| O4 | 0.099 (3) | 0.083 (2) | 0.090 (2) | 0.010 (2) | 0.048 (2) | 0.0039 (19) |
| C22 | 0.089 (4) | 0.080 (3) | 0.080 (3) | 0.026 (3) | 0.047 (3) | 0.020 (3) |
| C23 | 0.082 (4) | 0.089 (4) | 0.079 (4) | 0.020 (3) | 0.050 (3) | 0.008 (3) |
| C24 | 0.111 (5) | 0.093 (4) | 0.130 (5) | 0.018 (4) | 0.067 (4) | 0.022 (4) |
| C25 | 0.132 (6) | 0.092 (4) | 0.106 (5) | 0.034 (4) | 0.068 (5) | 0.022 (4) |
| C26 | 0.088 (4) | 0.106 (5) | 0.108 (5) | −0.003 (4) | 0.055 (4) | 0.002 (4) |
| C27 | 0.101 (4) | 0.096 (4) | 0.093 (4) | 0.017 (4) | 0.059 (3) | −0.002 (3) |
| C28 | 0.091 (4) | 0.079 (3) | 0.084 (4) | 0.020 (3) | 0.051 (3) | 0.001 (3) |