U11	U22	U33	U12	U13	U23
F1	0.165 (9)	0.167 (9)	0.102 (7)	0.031 (7)	0.032 (7)	0.026 (7)
F2	0.139 (8)	0.198 (9)	0.157 (8)	0.018 (7)	−0.044 (7)	0.025 (7)
F3	0.150 (9)	0.146 (8)	0.118 (7)	0.075 (7)	−0.004 (7)	0.012 (6)
F1'	0.179 (8)	0.207 (8)	0.064 (4)	−0.003 (7)	−0.021 (5)	0.006 (5)
F2'	0.102 (5)	0.166 (8)	0.123 (6)	0.071 (5)	0.011 (5)	0.020 (6)
F3'	0.158 (7)	0.185 (7)	0.157 (7)	0.032 (6)	−0.052 (6)	0.061 (6)
O1	0.057 (2)	0.068 (2)	0.071 (2)	0.0144 (17)	−0.0021 (17)	−0.0177 (19)
N1	0.059 (3)	0.052 (3)	0.068 (3)	0.002 (2)	−0.004 (2)	−0.001 (2)
N2	0.058 (3)	0.053 (3)	0.061 (3)	0.007 (2)	−0.005 (2)	−0.010 (2)
C1	0.053 (3)	0.045 (3)	0.065 (3)	0.000 (2)	−0.004 (3)	0.004 (3)
C2	0.054 (3)	0.071 (4)	0.099 (4)	0.002 (3)	−0.004 (3)	0.003 (4)
C3	0.059 (4)	0.150 (7)	0.147 (7)	0.020 (4)	−0.005 (4)	−0.044 (6)
C4	0.068 (4)	0.135 (6)	0.109 (5)	0.009 (4)	0.021 (4)	−0.014 (5)
C5	0.065 (3)	0.078 (4)	0.070 (3)	0.018 (3)	0.002 (3)	−0.009 (3)
C6	0.059 (3)	0.046 (3)	0.055 (3)	0.006 (2)	0.004 (2)	0.007 (2)
C7	0.056 (3)	0.041 (3)	0.047 (3)	0.006 (2)	0.001 (2)	0.002 (2)
C8	0.055 (3)	0.042 (3)	0.051 (3)	0.005 (2)	0.000 (3)	−0.002 (2)
C9	0.056 (3)	0.056 (3)	0.049 (3)	0.013 (2)	0.000 (2)	−0.009 (3)
C10	0.076 (4)	0.062 (4)	0.102 (5)	0.008 (3)	−0.020 (3)	−0.019 (3)
C11	0.091 (5)	0.085 (5)	0.152 (7)	0.013 (4)	−0.026 (5)	−0.055 (5)
C12	0.074 (4)	0.150 (7)	0.104 (5)	0.032 (5)	−0.020 (4)	−0.063 (6)
C13	0.064 (4)	0.131 (6)	0.051 (3)	0.039 (4)	−0.009 (3)	−0.017 (4)
C14	0.069 (3)	0.076 (4)	0.049 (3)	0.021 (3)	0.002 (3)	−0.002 (3)
C15	0.102 (6)	0.155 (7)	0.080 (5)	0.016 (5)	−0.025 (4)	−0.003 (5)