U11	U22	U33	U12	U13	U23
Cl	0.1293 (15)	0.1275 (15)	0.0742 (9)	−0.0277 (13)	0.0237 (9)	−0.0087 (10)
N	0.089 (3)	0.082 (3)	0.051 (2)	0.010 (3)	0.013 (2)	0.004 (2)
O	0.084	0.084	0.084	0.000	0.014	0.000
F	0.213 (7)	0.120 (3)	0.121 (3)	−0.062 (4)	0.067 (4)	0.001 (3)
C1	0.117 (6)	0.091 (5)	0.086 (5)	−0.031 (5)	0.043 (5)	0.001 (4)
C2	0.121 (6)	0.103 (5)	0.074 (4)	0.000 (5)	0.039 (4)	0.017 (4)
C3	0.090 (4)	0.096 (5)	0.063 (3)	−0.006 (4)	0.025 (3)	0.002 (3)
C4	0.078 (4)	0.080 (4)	0.058 (3)	0.008 (3)	0.020 (3)	0.008 (3)
C5	0.095 (4)	0.083 (4)	0.067 (3)	−0.016 (4)	0.029 (3)	0.000 (3)
C6	0.115 (6)	0.116 (5)	0.074 (4)	−0.007 (5)	0.038 (4)	0.010 (4)
C7	0.072 (3)	0.102 (4)	0.039 (2)	−0.003 (3)	0.009 (2)	−0.011 (3)
C8	0.111 (5)	0.110 (5)	0.044 (3)	−0.017 (4)	0.005 (3)	0.013 (3)