U11	U22	U33	U12	U13	U23
C1	0.101 (3)	0.059 (2)	0.088 (3)	0.041 (2)	0.048 (2)	0.007 (2)
C2	0.087 (3)	0.048 (2)	0.086 (3)	0.029 (2)	0.045 (2)	0.0136 (19)
C3	0.0441 (17)	0.0503 (19)	0.0398 (16)	0.0236 (15)	0.0071 (13)	0.0044 (13)
C4	0.068 (2)	0.050 (2)	0.067 (2)	0.0218 (18)	0.0303 (18)	0.0017 (16)
C5	0.065 (2)	0.057 (2)	0.071 (2)	0.0190 (18)	0.0278 (18)	0.0058 (18)
C6	0.0450 (17)	0.0509 (19)	0.0415 (16)	0.0240 (15)	0.0085 (13)	0.0076 (14)
C7	0.062 (2)	0.051 (2)	0.070 (2)	0.0167 (17)	0.0244 (18)	0.0000 (17)
C8	0.057 (2)	0.062 (2)	0.068 (2)	0.0113 (18)	0.0246 (18)	0.0100 (19)
C9	0.099 (3)	0.066 (3)	0.084 (3)	0.043 (2)	0.051 (2)	0.014 (2)
C10	0.088 (3)	0.051 (2)	0.086 (3)	0.033 (2)	0.050 (2)	0.0181 (19)
C11	0.051 (2)	0.067 (2)	0.053 (2)	0.0286 (19)	0.0115 (16)	0.0133 (18)
C12	0.0505 (19)	0.058 (2)	0.0458 (17)	0.0287 (17)	0.0082 (14)	0.0096 (15)
C13	0.057 (2)	0.055 (2)	0.0496 (18)	0.0293 (17)	0.0115 (15)	0.0056 (15)
C14	0.054 (2)	0.059 (2)	0.0524 (19)	0.0248 (17)	0.0139 (15)	0.0097 (16)
C15	0.056 (2)	0.074 (2)	0.0492 (19)	0.0380 (19)	0.0113 (16)	0.0105 (17)
C16	0.073 (2)	0.063 (2)	0.066 (2)	0.039 (2)	0.0136 (19)	0.0012 (18)
C17	0.059 (2)	0.054 (2)	0.065 (2)	0.0247 (17)	0.0153 (17)	0.0110 (17)
C18	0.066 (2)	0.047 (2)	0.077 (3)	0.0274 (18)	0.018 (2)	0.0114 (17)
C19	0.056 (2)	0.0402 (18)	0.074 (2)	0.0217 (16)	0.0126 (17)	0.0086 (16)
C20	0.062 (2)	0.057 (2)	0.077 (3)	0.0304 (19)	0.0102 (19)	0.0050 (18)
C21	0.084 (3)	0.059 (2)	0.069 (2)	0.034 (2)	0.011 (2)	0.0068 (18)
C22	0.082 (3)	0.050 (2)	0.089 (3)	0.027 (2)	0.034 (2)	0.014 (2)
C23	0.061 (2)	0.064 (2)	0.103 (3)	0.031 (2)	0.023 (2)	0.019 (2)
C24	0.061 (2)	0.056 (2)	0.079 (3)	0.0292 (18)	0.0149 (19)	0.0149 (18)
C25	0.090 (3)	0.067 (3)	0.083 (3)	0.032 (2)	0.050 (2)	0.017 (2)
C26	0.088 (3)	0.053 (2)	0.083 (3)	0.033 (2)	0.047 (2)	0.0095 (18)
C27	0.0489 (18)	0.0546 (19)	0.0420 (16)	0.0294 (16)	0.0090 (13)	0.0066 (14)
C28	0.060 (2)	0.056 (2)	0.078 (2)	0.0229 (18)	0.0246 (18)	−0.0046 (18)
C29	0.066 (2)	0.063 (2)	0.077 (3)	0.026 (2)	0.021 (2)	−0.0122 (19)
N1	0.0571 (17)	0.067 (2)	0.0516 (16)	0.0300 (15)	0.0159 (13)	0.0041 (14)
N2	0.0552 (17)	0.074 (2)	0.0550 (17)	0.0302 (16)	0.0203 (13)	0.0093 (15)
N3	0.073 (2)	0.093 (2)	0.072 (2)	0.0439 (19)	0.0284 (17)	0.0050 (18)
N4	0.125 (3)	0.118 (3)	0.103 (3)	0.062 (3)	0.060 (3)	0.037 (3)
N5	0.0637 (19)	0.077 (2)	0.0497 (16)	0.0412 (18)	0.0156 (14)	0.0034 (15)
O1	0.0788 (18)	0.0675 (17)	0.0739 (17)	0.0323 (14)	0.0395 (14)	0.0093 (14)
O2	0.0747 (17)	0.0691 (17)	0.0948 (19)	0.0289 (15)	0.0418 (15)	0.0247 (15)
O3	0.0734 (18)	0.095 (2)	0.0739 (19)	0.0426 (16)	0.0169 (15)	0.0200 (15)
O4	0.0781 (19)	0.101 (2)	0.098 (2)	0.0563 (17)	0.0312 (16)	0.0246 (16)
O5	0.0724 (18)	0.0648 (18)	0.0782 (18)	0.0317 (15)	0.0163 (14)	0.0169 (14)
O6	0.165 (5)	0.067 (3)	0.187 (6)	0.018 (3)	0.060 (4)	−0.015 (3)
O7	0.213 (8)	0.156 (5)	0.086 (4)	0.072 (5)	0.043 (4)	0.021 (3)
O8	0.199 (8)	0.095 (5)	0.177 (7)	0.077 (5)	0.030 (6)	0.017 (4)
O9	0.148 (6)	0.210 (7)	0.237 (8)	0.084 (5)	0.114 (6)	0.047 (6)
Cl1	0.0960 (9)	0.0596 (7)	0.1150 (10)	0.0368 (6)	0.0438 (7)	0.0144 (6)
O6'	0.195 (12)	0.143 (10)	0.156 (10)	0.094 (9)	0.056 (8)	−0.036 (7)
O7'	0.172 (11)	0.162 (11)	0.170 (12)	0.048 (8)	0.082 (9)	0.058 (9)
O8'	0.115 (9)	0.063 (9)	0.145 (11)	0.045 (7)	−0.003 (7)	0.037 (7)
O9'	0.095 (8)	0.096 (8)	0.139 (10)	0.051 (6)	−0.030 (7)	−0.010 (6)
Cl1'	0.0960 (9)	0.0596 (7)	0.1150 (10)	0.0368 (6)	0.0438 (7)	0.0144 (6)