Table 2.
The resistivity of starting silicon wafer | ||||
---|---|---|---|---|
1–5 Ω·cm | 0.3–0.8 Ω·cm | 0.008–0.016 Ω·cm | 0.001–0.002 Ω·cm | |
10 Minutes | Length: 7.5 um | Length: 5.6 um | Length: 5 um | Length: 2.5 um |
15 Minutes | Length: 12.5 um | Length: 11.2 um | Length: 8.1 um | Length: 4.8 um |
30 Minutes | Length: 20.6 um | Length: 19.8 um | Length: 16.8 um | Length: 7.0 um |