U11	U22	U33	U12	U13	U23
Cl1	0.0669 (7)	0.0630 (7)	0.0559 (6)	0.0019 (5)	0.0283 (5)	−0.0003 (5)
Cl2	0.0943 (9)	0.0704 (8)	0.0883 (9)	0.0208 (7)	0.0509 (8)	0.0218 (6)
O1A	0.080 (3)	0.106 (4)	0.101 (4)	−0.012 (3)	0.056 (3)	−0.012 (4)
O2A	0.137 (5)	0.124 (5)	0.068 (3)	0.020 (4)	0.006 (3)	0.017 (3)
O3A	0.116 (6)	0.064 (3)	0.094 (5)	−0.010 (3)	0.036 (5)	−0.007 (3)
O4A	0.072 (6)	0.074 (5)	0.072 (3)	−0.001 (4)	0.040 (4)	−0.005 (4)
O1B	0.122 (5)	0.102 (5)	0.083 (5)	−0.009 (4)	0.059 (4)	0.011 (4)
O2B	0.090 (4)	0.108 (6)	0.057 (4)	0.004 (4)	0.010 (3)	−0.016 (4)
O3B	0.107 (7)	0.069 (4)	0.090 (6)	0.020 (4)	0.014 (6)	−0.004 (4)
O4B	0.071 (7)	0.072 (6)	0.050 (3)	−0.007 (5)	0.023 (4)	−0.003 (4)
O5A	0.106 (4)	0.092 (5)	0.122 (6)	0.031 (4)	0.005 (5)	0.007 (4)
O6A	0.149 (5)	0.109 (5)	0.102 (3)	0.040 (4)	0.071 (4)	0.024 (3)
O7A	0.098 (5)	0.061 (3)	0.117 (5)	0.006 (3)	0.047 (5)	0.009 (3)
O8A	0.098 (3)	0.090 (4)	0.084 (4)	0.007 (3)	0.022 (3)	−0.004 (3)
O5B	0.111 (5)	0.082 (5)	0.124 (7)	0.034 (5)	0.038 (6)	0.013 (5)
O6B	0.139 (5)	0.098 (5)	0.118 (6)	0.011 (4)	0.087 (4)	0.020 (5)
O7B	0.091 (5)	0.083 (6)	0.106 (5)	−0.001 (5)	0.050 (5)	−0.003 (4)
O8B	0.117 (4)	0.115 (7)	0.114 (6)	0.018 (4)	0.002 (5)	−0.001 (5)
N1	0.060 (2)	0.056 (2)	0.054 (2)	−0.0036 (17)	0.0177 (18)	0.0058 (16)
N2	0.061 (2)	0.052 (2)	0.0438 (18)	0.0022 (16)	0.0154 (16)	0.0031 (15)
N3	0.073 (3)	0.061 (2)	0.066 (2)	0.0037 (19)	0.017 (2)	−0.0068 (19)
N4	0.065 (2)	0.058 (2)	0.062 (2)	−0.0012 (18)	0.0260 (19)	0.0045 (18)
N5	0.060 (2)	0.057 (2)	0.094 (3)	−0.0071 (18)	0.024 (2)	0.015 (2)
C1	0.062 (3)	0.077 (3)	0.051 (2)	0.002 (2)	0.019 (2)	0.011 (2)
C2	0.058 (3)	0.073 (3)	0.043 (2)	0.012 (2)	0.013 (2)	0.011 (2)
C3	0.077 (3)	0.086 (4)	0.049 (2)	0.019 (3)	0.019 (2)	0.000 (2)
C4	0.099 (4)	0.071 (3)	0.060 (3)	0.018 (3)	0.017 (3)	−0.008 (2)
C5	0.098 (4)	0.054 (3)	0.063 (3)	0.000 (3)	0.009 (3)	−0.005 (2)
C6	0.078 (3)	0.050 (2)	0.054 (2)	−0.007 (2)	0.017 (2)	0.000 (2)
C7	0.057 (2)	0.049 (2)	0.048 (2)	−0.0030 (19)	0.0136 (19)	0.0069 (18)
C8	0.054 (2)	0.053 (2)	0.049 (2)	−0.0041 (19)	0.0132 (19)	−0.0070 (19)
C9	0.065 (3)	0.071 (3)	0.053 (2)	−0.007 (2)	0.022 (2)	−0.008 (2)
C10	0.077 (3)	0.092 (4)	0.063 (3)	−0.027 (3)	0.025 (3)	−0.010 (3)
C11	0.063 (3)	0.105 (5)	0.085 (4)	−0.014 (3)	0.033 (3)	−0.031 (3)
C12	0.071 (3)	0.084 (4)	0.086 (4)	0.007 (3)	0.020 (3)	−0.026 (3)
C13	0.067 (3)	0.055 (3)	0.059 (3)	−0.014 (2)	0.014 (2)	0.007 (2)
C14	0.074 (3)	0.056 (3)	0.061 (3)	−0.003 (2)	0.017 (2)	0.007 (2)
C15	0.058 (3)	0.056 (2)	0.054 (2)	0.000 (2)	0.020 (2)	0.006 (2)
C16	0.072 (3)	0.053 (3)	0.073 (3)	−0.002 (2)	0.017 (3)	0.001 (2)
C17	0.066 (3)	0.065 (3)	0.075 (3)	0.004 (2)	0.034 (3)	0.008 (2)