| U11 | U22 | U33 | U12 | U13 | U23 | |
| Cl1 | 0.1037 (7) | 0.0772 (5) | 0.0564 (4) | 0.0074 (4) | 0.0422 (4) | 0.0022 (4) |
| O1 | 0.156 (3) | 0.115 (2) | 0.0785 (17) | 0.082 (2) | 0.0643 (18) | 0.0375 (15) |
| N1 | 0.0919 (19) | 0.0772 (17) | 0.0608 (14) | 0.0330 (15) | 0.0417 (14) | 0.0202 (13) |
| N2 | 0.222 (5) | 0.0612 (18) | 0.094 (2) | 0.028 (2) | 0.088 (3) | 0.0162 (17) |
| C1 | 0.073 (2) | 0.0755 (19) | 0.0606 (17) | 0.0233 (16) | 0.0353 (15) | 0.0164 (15) |
| C2 | 0.081 (2) | 0.076 (2) | 0.0669 (19) | 0.0181 (17) | 0.0324 (17) | 0.0249 (16) |
| C3 | 0.116 (3) | 0.082 (2) | 0.0614 (19) | −0.009 (2) | 0.031 (2) | 0.0071 (17) |
| C4 | 0.140 (5) | 0.105 (4) | 0.083 (4) | 0.046 (4) | 0.074 (4) | 0.058 (3) |
| C5 | 0.098 (6) | 0.087 (5) | 0.073 (5) | 0.043 (4) | 0.035 (4) | 0.032 (4) |
| C6 | 0.137 (4) | 0.097 (3) | 0.089 (3) | 0.064 (3) | 0.066 (3) | 0.042 (2) |
| C4' | 0.140 (5) | 0.105 (4) | 0.083 (4) | 0.046 (4) | 0.074 (4) | 0.058 (3) |
| C5' | 0.098 (6) | 0.087 (5) | 0.073 (5) | 0.043 (4) | 0.035 (4) | 0.032 (4) |
| C7 | 0.117 (3) | 0.095 (3) | 0.079 (2) | 0.050 (2) | 0.062 (2) | 0.039 (2) |
| C8 | 0.082 (2) | 0.0543 (15) | 0.0518 (14) | 0.0011 (15) | 0.0290 (15) | 0.0014 (12) |
| C9 | 0.138 (3) | 0.085 (2) | 0.074 (2) | 0.054 (2) | 0.061 (2) | 0.0329 (19) |
| C10 | 0.112 (3) | 0.090 (2) | 0.069 (2) | 0.051 (2) | 0.049 (2) | 0.0215 (18) |
| C11 | 0.112 (3) | 0.0497 (15) | 0.0594 (17) | 0.0056 (17) | 0.0401 (18) | −0.0032 (14) |
| C12 | 0.0720 (19) | 0.0486 (14) | 0.0511 (14) | 0.0042 (13) | 0.0253 (13) | 0.0023 (11) |
| C13 | 0.0702 (18) | 0.0533 (15) | 0.0645 (17) | −0.0016 (14) | 0.0308 (15) | 0.0010 (13) |
| C14 | 0.083 (2) | 0.0580 (17) | 0.0565 (16) | −0.0004 (15) | 0.0243 (16) | −0.0096 (13) |
| C15 | 0.0743 (19) | 0.0574 (16) | 0.0511 (15) | 0.0018 (14) | 0.0284 (14) | 0.0009 (12) |
| C16 | 0.099 (3) | 0.108 (3) | 0.075 (2) | −0.038 (2) | 0.049 (2) | −0.019 (2) |
| C17 | 0.093 (2) | 0.103 (3) | 0.0655 (19) | −0.038 (2) | 0.0371 (19) | −0.0272 (19) |