Table 1.
Ar : H2 : CH4 = 430 : 30 : 40 in sccm |
Ar : H2 : CH4 = 420 : 30 : 50 in sccm |
Ar : H2 : CH4 = 410 : 30 : 60 in sccm |
|
---|---|---|---|
1030 °C | G1 | G2 | G3 |
1050 °C | G4 | G5 | G6 |
1070 °C | G7 | G8 | G9 |
Ar : H2 : CH4 = 430 : 30 : 40 in sccm |
Ar : H2 : CH4 = 420 : 30 : 50 in sccm |
Ar : H2 : CH4 = 410 : 30 : 60 in sccm |
|
---|---|---|---|
1030 °C | G1 | G2 | G3 |
1050 °C | G4 | G5 | G6 |
1070 °C | G7 | G8 | G9 |