Table 3.
Degraded amount (ng/mm2) | 30°
|
45°
|
90°
|
|||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
0 Volt
|
1.5 Volt
|
0 Volt
|
1.5 Volt
|
0 Volt
|
1.5 Volt
|
|||||||
23 °C | 90 °C | 23 °C | 90 °C | 23 °C | 90 °C | 23 °C | 90 °C | 23 °C | 90 °C | 23 °C | 90 °C | |
Day 10 (e-beam) | – | – | – | 7.4 | 11.9 | 7.1 | 9.3 | 2.2 | 0.2 | 0.4 | 0.2 | 0.4 |
Day 20 (e-beam) | – | – | – | – | 6.2 | 6.4 | – | 3.8 | 0.2 | 0.5 | 0.2 | 0.5 |
Day 10 (spuntter) | 11.6 | 28.0 | 14.3 | 5.4 | 7.3 | 8.9 | 5.0 | 8.9 | 8.5 | 7.3 | 13.1 | 2.7 |
Day 20 (spuntter) | 19.7 | 100.4 | – | 4.2 | 7.3 | 10.8 | 3.5 | 3.1 | 11.2 | 10.0 | 20.5 | 6.2 |