Table 1.

Lateral gaps between eight sets of comb tooth and their neighboring electrodes.

Electrode	d1	d2
X1	d10 − dx + x	d20 + dx − x
X2	d10 + dx − x	d20 − dx + x
X3	d10 + dx + x	d20 − dx − x
X4	d10 − dx − x	d20 + dx + x
Y1/Y3	d10 + x	d20 − x
Y2/Y4	d10 − x	d20 + x