Table 2.
Sensing Material | Composition | Total Thickness | Sample Number |
---|---|---|---|
SnO2 | 100% | 30 nm | S0 |
SnO2/TiO2 bilayer | 30 nm + 5 nm | 35 nm | S1 |
SnO2/TiO2 bilayer | 30 nm + 8 nm | 38 nm | S2 |
SnO2/TiO2 bilayer | 30 nm + 20 nm | 50 nm | S3 |
SnO2/TiO2 multilayer | 5% TiO2 | 31.5 nm | S4 |
SnO2/TiO2 multilayer | 10% TiO2 | 33 nm | S5 |
SnO2/TiO2 multilayer | 20% TiO2 | 36 nm | S6 |
TiO2 | 100% | 30 nm | S7 |