Table 3.

Dimensions of the final structure.

Items	Length × Width × Thickness
The sensitive beams	$800\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 110\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 50\mathsf{\mu }\mathrm{m}$
The added beams	$1000\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 100\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 50\mathsf{\mu }\mathrm{m}$
Seismic mass	$3000\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 3200\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 400\mathsf{\mu }\mathrm{m}$
Four additional small masses	$2000\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 1800\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 400\mathsf{\mu }\mathrm{m}$
PZT thin films	$100\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 110\mathsf{\mu }\mathrm{m}\times 1\mathsf{\mu }\mathrm{m}$