Table 2.
Components | A1 | A2 | A3 |
---|---|---|---|
| |||
Mole % | Mole % | Mole % | |
C5F10 | …………… | …………… | 0.3 |
C4F8 | …………… | …………… | .3 |
C3F8 | …………… | 0.9 | 1.5 |
C3F6 | 1.0 | 2.6 | 3.7 |
C2F6 | …………… | 14.0 | 3.6 |
C2F4 | 75.7 | 51.6 | 34.7 |
CF4 | 6.3 | 17.3 | 17.5 |
SiF4 | …………… | 0.7 | 15.0 |
CO2 | 13.7 | 12.9 | 23.4 |
C4H8 | 0.7 | …………… | …………… |
C3H6 | .9 | …………… | …………… |
C2H4 | 1.7 | …………… | …………… |