Table 3.
Length of the Groove | 5 μm | 10 μm | 15 μm | 20 μm | 25 μm | 30 μm | 35 μm | 40 μm |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
β | −0.10510 | −0.04133 | −0.03703 | 0.04768 | 0.23652 | 0.48654 | 0.67712 | 0.78614 |
Length of the Groove | 5 μm | 10 μm | 15 μm | 20 μm | 25 μm | 30 μm | 35 μm | 40 μm |
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β | −0.10510 | −0.04133 | −0.03703 | 0.04768 | 0.23652 | 0.48654 | 0.67712 | 0.78614 |