U11	U22	U33	U12	U13	U23
S1	0.0556 (6)	0.0528 (5)	0.0564 (6)	0.0265 (4)	0.0067 (4)	0.0168 (4)
S2	0.1153 (13)	0.0862 (10)	0.0592 (7)	0.0530 (9)	0.0044 (7)	−0.0025 (7)
O1	0.078 (2)	0.096 (3)	0.0542 (19)	0.0412 (19)	0.0077 (16)	0.0382 (18)
O2	0.0553 (17)	0.0497 (16)	0.070 (2)	0.0134 (14)	0.0171 (15)	0.0107 (15)
O3	0.0572 (18)	0.0701 (19)	0.067 (2)	0.0282 (17)	0.0193 (15)	0.0220 (16)
O4	0.0610 (18)	0.0706 (18)	0.0592 (18)	0.0253 (15)	0.0183 (14)	0.0332 (16)
O5	0.081 (2)	0.102 (3)	0.0598 (19)	0.014 (2)	0.0054 (17)	0.042 (2)
O6	0.099 (3)	0.077 (3)	0.126 (4)	0.020 (2)	−0.015 (3)	0.014 (3)
N1	0.0461 (17)	0.0475 (17)	0.0448 (17)	0.0201 (14)	0.0055 (14)	0.0155 (14)
N2	0.072 (3)	0.076 (3)	0.068 (3)	0.045 (2)	−0.005 (2)	0.002 (2)
N3	0.064 (2)	0.065 (2)	0.064 (2)	0.029 (2)	−0.0105 (19)	0.001 (2)
C1	0.050 (2)	0.052 (2)	0.041 (2)	0.0208 (18)	0.0003 (16)	0.0081 (18)
C2	0.0405 (19)	0.048 (2)	0.046 (2)	0.0151 (16)	−0.0009 (16)	0.0099 (17)
C3	0.043 (2)	0.052 (2)	0.0400 (18)	0.0173 (16)	0.0043 (15)	0.0141 (17)
C4	0.044 (2)	0.058 (2)	0.058 (2)	0.0244 (18)	0.0084 (17)	0.026 (2)
C5	0.0399 (18)	0.0476 (19)	0.0424 (19)	0.0142 (16)	−0.0011 (15)	0.0112 (17)
C6	0.0399 (19)	0.047 (2)	0.0416 (18)	0.0131 (16)	0.0002 (14)	0.0097 (16)
C7	0.0414 (19)	0.048 (2)	0.058 (2)	0.0179 (17)	0.0050 (17)	0.0158 (18)
C8	0.062 (3)	0.061 (3)	0.079 (3)	0.019 (2)	0.024 (2)	0.026 (2)
C9	0.045 (2)	0.053 (3)	0.129 (5)	0.008 (2)	0.004 (3)	0.031 (3)
C10	0.0422 (19)	0.057 (2)	0.043 (2)	0.0152 (19)	−0.0019 (16)	0.0155 (18)
C11	0.045 (2)	0.051 (2)	0.070 (3)	0.0151 (18)	0.0032 (19)	0.026 (2)
C12	0.057 (2)	0.043 (2)	0.062 (2)	0.0210 (18)	0.001 (2)	0.0162 (18)
C13	0.059 (3)	0.066 (3)	0.063 (3)	0.035 (2)	0.016 (2)	0.026 (2)
C14	0.063 (3)	0.057 (2)	0.049 (2)	0.025 (2)	0.008 (2)	0.013 (2)
C15	0.098 (5)	0.119 (6)	0.102 (5)	0.055 (5)	−0.043 (5)	−0.016 (5)
C16	0.101 (5)	0.115 (5)	0.067 (4)	0.036 (4)	−0.014 (3)	0.010 (4)
C17	0.056 (3)	0.113 (4)	0.070 (3)	0.024 (3)	0.019 (2)	0.051 (3)
C18	0.069 (3)	0.072 (3)	0.069 (3)	0.012 (3)	0.008 (3)	0.016 (3)
C19	0.128 (5)	0.087 (4)	0.048 (3)	0.037 (4)	0.001 (3)	0.025 (3)
C20	0.247 (16)	0.137 (9)	0.167 (11)	0.007 (9)	−0.005 (11)	0.089 (8)
C21	0.267 (18)	0.196 (12)	0.070 (5)	0.079 (12)	−0.037 (7)	0.014 (6)
C22	0.190 (11)	0.185 (10)	0.095 (6)	0.122 (9)	0.017 (6)	0.057 (6)