Table 2.

The range of fabrication imperfections.

Alignment Error	Silicon Thickness Error	Etching Depth Error	Upper Width Error	Bottom Width Error	DRIE Verticality Error
Red Dashed	$H$	$h$	$a$	$b$	$\theta$
$\pm 3\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 3\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 1\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 1\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 3\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 1\mathrm{deg}$