U11	U22	U33	U12	U13	U23
C1	0.088 (2)	0.066 (2)	0.083 (2)	0.000	−0.0157 (18)	0.000
C2	0.0734 (18)	0.0410 (17)	0.0749 (19)	0.000	−0.0011 (15)	0.000
C3	0.0559 (16)	0.077 (2)	0.077 (2)	0.000	0.0003 (16)	0.000
C4	0.0621 (17)	0.086 (2)	0.0633 (18)	0.000	0.0113 (15)	0.000
C5	0.0611 (16)	0.0480 (17)	0.0576 (16)	0.000	0.0032 (13)	0.000
C6	0.0630 (16)	0.0543 (18)	0.0631 (17)	0.000	0.0085 (14)	0.000
C7	0.0786 (19)	0.0547 (19)	0.0587 (16)	0.000	0.0068 (15)	0.000
C8	0.0531 (14)	0.0530 (18)	0.0649 (17)	0.000	0.0079 (13)	0.000
C9	0.0527 (14)	0.0458 (16)	0.0582 (15)	0.000	0.0074 (13)	0.000
C10	0.0546 (15)	0.0551 (18)	0.0616 (16)	0.000	0.0165 (14)	0.000
C11	0.0642 (16)	0.0530 (18)	0.0550 (15)	0.000	0.0112 (14)	0.000
C12	0.0595 (16)	0.065 (2)	0.0611 (17)	0.000	0.0016 (13)	0.000
C13	0.0554 (15)	0.0556 (18)	0.0669 (17)	0.000	0.0113 (14)	0.000
C14	0.0574 (15)	0.0524 (17)	0.0566 (16)	0.000	0.0128 (13)	0.000
C15	0.0519 (16)	0.082 (2)	0.083 (2)	0.000	0.0124 (15)	0.000
C16	0.0684 (14)	0.090 (2)	0.139 (2)	0.0156 (13)	0.0353 (16)	−0.0004 (17)
C17	0.0520 (18)	0.219 (6)	0.110 (3)	0.000	−0.002 (2)	0.000
C18	0.079 (2)	0.091 (3)	0.0563 (17)	0.000	0.0149 (16)	0.000
C19	0.204 (4)	0.235 (5)	0.095 (2)	−0.106 (4)	0.061 (3)	−0.087 (3)
C20	0.102 (3)	0.168 (4)	0.073 (2)	0.000	0.036 (2)	0.000
Cl1	0.1117 (8)	0.1390 (10)	0.0595 (5)	0.000	0.0104 (5)	0.000
N1	0.0608 (13)	0.0617 (16)	0.0578 (14)	0.000	0.0075 (11)	0.000
O1	0.0613 (11)	0.1072 (18)	0.0574 (12)	0.000	0.0166 (10)	0.000