Table 6.
Parameter | Initial Roughness | Minimum Achievable Roughness | |
---|---|---|---|
Top | Bottom | ||
0.15 µm | 0.083 µm | 0.045 µm | |
0.63 µm | 0.414 µm | 0.221 µm | |
0.10 µm | 0.033 µm | 0.028 µm | |
0.14 µm | 0.055 µm | 0.032 µm |
Parameter | Initial Roughness | Minimum Achievable Roughness | |
---|---|---|---|
Top | Bottom | ||
0.15 µm | 0.083 µm | 0.045 µm | |
0.63 µm | 0.414 µm | 0.221 µm | |
0.10 µm | 0.033 µm | 0.028 µm | |
0.14 µm | 0.055 µm | 0.032 µm |