Table 5.

The FoM of 2D double non-resonant scanning MEMS mirrors.

Marker	Actuation Method	FoM	Mirror Plate Dimension A	Non-Resonant Angle θh		Non-Resonant Angle θv		fh (kHz)	fv (kHz)	Ref.
				(°)	(rad)	(°)	(rad)
■	EM	0.42	D = 2.5 mm	60	1.05	46	0.80	0.16	0.21	[97]
•	EM	0.42	4 × 4 mm2	32	0.56	32	0.56	0.16	0.17	[98]
▼	EM	0.35	4.2 × 3.2 mm2	16	0.28	16	0.28	0.24	0.39	[99]
▲	EM	0.15	8 × 8 mm2	15.7	0.27	16.2	0.28	0.06	0.06	[84]
★	EM	0.15	9 mm2	20	0.35	20	0.35	0.13	0.12	[100]
×	EM	0.11	D = 0.38 mm	240	4.19	240	4.19	0.07	0.07	[101]
★	ES	1.29	D = 0.8 mm	24	0.42	24	0.42	3.8	3.9	[102]
▼	ES	1.08	D = 1.6 mm	24	0.42	24	0.42	0.67	1.6	[102]
▲	ES	0.07	D = 1 mm	24.8	0.43	16.4	0.29	0.35	0.32	[103]
★	ET	0.45	D = 0.5 mm	4	0.07	4	0.07	12.8	12.8	[104]
■	ET	0.41	0.72 × 0.72 mm2	40	0.70	40	0.70	0.69	0.74	[105]
•	ET	0.36	2.5 × 2 mm2	15	0.26	12	0.21	0.7	0.53	[106]
▲	ET	0.35	0.9 × 0.9 mm2	36	0.63	36	0.63	0.55	0.55	[107]
♦	ET	0.34	0.5 × 0.5 mm2	102	1.78	79	1.38	0.17	0.87	[105]
•	PE	0.15	1.1 × 1.1 mm2	2.1	0.04	1.8	0.03	0.04	3.5	[108]