Table 2.

Parameters of 6DOF motion errors measurement system.

Parameter	Stability Standard Deviation	Repeatability Error	Resolution	Measurement Range
Positioning error	$40\mathrm{nm}$	$\pm 30\mathrm{nm}$	$1\mathrm{nm}$	5 m
Straightness error (X)	$0.07\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 0.25\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$0.1\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 100\mathsf{\mu }\mathrm{m}$
Straightness error (Y)	$0.09\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 0.37\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$0.1\mathsf{\mu }\mathrm{m}$	$\pm 100\mathsf{\mu }\mathrm{m}$
Pitch	$0.21\mathrm{arcsec}$	$\pm 0.30\mathrm{arcsec}$	$0.26\mathrm{arcsec}$	$\pm 200\mathrm{arcsec}$
Yaw	$0.16\mathrm{arcsec}$	$\pm 0.17\mathrm{arcsec}$	$0.26\mathrm{arcsec}$	$\pm 200\mathrm{arcsec}$
Roll	$0.45\mathrm{arcsec}$	$\pm 0.60\mathrm{arcsec}$	$0.69\mathrm{arcsec}$	$\pm 680\mathrm{arcsec}$