Table 5.
Parameter/ System |
TEOS:DTMS 7:3 |
TEOS:DTMS 6:4 |
TEOS:DTMS 5:5 |
TEOS:DTMS 4:6 |
TEOS:DTMS 3:7 |
TEOS:ODTMS 5:5 |
TEOS:PrTMS 5:5 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Rp (µm) | 0.37 ± 0.07 | 0.90 ± 0.12 | 2.13 ± 0.16 | 1.68 ± 0.25 | 0.92 ± 0.09 | 2.21 ± 0.29 | 0.23 ± 0.08 |
Ra (µm) | 0.12 ± 0.02 | 0.25 ± 0.03 | 0.63 ± 0.07 | 0.50 ± 0.09 | 0.25 ± 0.03 | 0.67 ± 0.08 | 0.06 ± 0.02 |
Rq (µm) | 0.15 ± 0.02 | 0.32 ± 0.05 | 0.81 ± 0.08 | 0.63 ± 0.11 | 0.32 ± 0.03 | 0.85 ± 0.11 | 0.08 ± 0.03 |
RSm (mm) | 0.01 ± 0.00 | 0.01 ± 0.00 | 0.02 ± 0.01 | 0.02 ± 0.00 | 0.01 ± 0.00 | 0.02 ± 0.01 | 0.03 ± 0.03 |
Peak density (1/cm) | 1135 ± 156 | 815 ± 121 | 480 ± 74 | 647 ± 74.1 | 719 ± 54.8 | 598 ± 118 | 483 ± 175 |
Rsk | 0.0112 ± 0.101 | 0.54 ± 0.01 | 0.71 ± 0.11 | 0.63 ± 0.11 | 0.63 ± 0.14 | 0.51 ± 0.14 | 0.20 ± 0.26 |
Rku | 3.10 ± 0.28 | 3.72 ± 0.24 | 3.65 ± 0.28 | 3.48 ± 0.26 | 3.97 ± 0.38 | 3.30 ± 0.32 | 5.30 ± 0.78 |