Table 1.
Sample | D-C2H4/Fe(CO)5 | D-synth. Air | D-Ar Conf | D-Arwindows | Tflame | P | Plaser |
---|---|---|---|---|---|---|---|
unit | sccm | sccm | sccm | sccm | °C | mbar | W |
FeO1 | 33/6.6 | 33 | 750 | 250 | 670 | 300 | 157/150 |
Sample | D-C2H4/Fe(CO)5 | D-synth. Air | D-Ar Conf | D-Arwindows | Tflame | P | Plaser |
---|---|---|---|---|---|---|---|
unit | sccm | sccm | sccm | sccm | °C | mbar | W |
FeO1 | 33/6.6 | 33 | 750 | 250 | 670 | 300 | 157/150 |