Skip to main content
. 2022 Jan 7;12:32. doi: 10.1038/s41598-021-03935-z

Table 1.

Simulated layer thickness of TiO2/SiO2 multilayer films with 23-layers and Ti/TiO2/SiO2 multilayer films with 26-layers.

23-layers TiO2/SiO2 thin films
(6F) SiO2 99.8 nm (12F) SiO2 90.6 nm (18F) SiO2 129.0 nm
(5F) TiO2 43.7 nm (11F) TiO2 53.2 nm (17F) TiO2 72.9 nm (23F) TiO2 78.6 nm
(4F) SiO2 96.0 nm (10F) SiO2 78.4 nm (16F) SiO2 176.6 nm (22F) SiO2 110.4 nm
(3F) TiO2 45.3 nm (9F) TiO2 125.4 nm (15F) TiO2 82.8 nm (21F) TiO2 105.1 nm
(2F) SiO2 107.5 nm (8F) SiO2 86.6 nm (14F) SiO2 149.1 nm (20F) SiO2 186.9 nm
(1F) TiO2 85.6 nm (7F) TiO2 80.1 nm (13F) TiO2 78.6 nm (19F) TiO2 73.6 nm
Total 2236.0 nm
26-layers Ti/TiO2/SiO2 thin films
(7F) TiO2 80.1 nm (14F) TiO2 78.6 nm (21F) TiO2 73.6 nm
(6F) SiO2 99.8 nm (13F) SiO2 90.6 nm (20F) Ti 4.0 nm
(5F) TiO2 43.7 nm (12F) TiO2 53.2 nm (19F) SiO2 129.0 nm (26F) TiO2 78.6 nm
(4F) SiO2 96.0 nm (11F) SiO2 78.4 nm (18F) TiO2 72.9 nm (25F) SiO2 110.4 nm
(3F) TiO2 45.3 nm (10F) TiO2 125.4 nm (17F) SiO2 176.6 nm (24F) TiO2 105.1 nm
(2F) SiO2 107.5 nm (9F) Ti 6.0 nm (16F) TiO2 82.8 nm (23F) Ti 4.0 nm
(1F) TiO2 85.6 nm (8F) SiO2 86.6 nm (15F) SiO2 149.1 nm (22F) SiO2 186.9 nm
Total 2250.0 nm