Table 2.

Max. and min. temperature in substrate during the deposition of each layer.

Layer No.	1	2	3	4	5	6	7	8	9	10	11	12	13	14	15
Min	95	83	145	122	165	141	177	151	186	161	185	163	188	167	178
Max	177	140	213	157	210	171	213	177	209	187	202	182	197	184	185
Layer No.	16	17	18	19	20	21	22	23	24	25	26	27	28	29	30
Min	160	186	166	183	164	186	167	193	172	198	176	187	171	180	168
Max	177	193	183	187	180	194	185	199	190	204	196	195	188	187	185